半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体行业中高端首测配置涉重电镀废水——MVR强硬巡环零排内容
项目流程背景图片
半导中档首测楼盘,规模性150万每立方/天,是首例半导首测设备配套涉重生活污水零排楼盘。首测流程的镀镍、镀铜、引线结构拆洗会产生了含镍含铜生活污水,工业区的要求"无尾水外排",产水都是回收利用于产线。
水体质量症状与困难
污水以含镍主要(有机化学废气浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH上下波动大(2–12),还光刻胶使用量的一定量有机化学物。首测厂基地紧,规范要求整理的设施占地面小;零排意示着浓水没有运输很多,必定本机多效蒸发晶粒前馈。
办工院艺自驾路线
综合走"分质办理 → 预办理除杂 → 生物学沉淀出的除镍 → 活性炭过滤 → UF+有级RO → MVR被迫反复汽化 → 冷却水循环":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢硫化物钠自动生成Ni(OH)₂沉淀出的,后加塑炼钠深度.收集残留物镍(塑炼镍Ksp比氢硫化物镍更小,能能镍压到0.1毫克/升下述);
乳浊液出水量经多物料活性炭过滤水+安检员活性炭过滤水后进UF,再进七级RO,产水直接性回产线冲洗;
RO浓水(含盐+多余天价属)进MVR禁止再循环系统蒸馏器,禁止再循环系统能扛高含盐结渣,蒸馏器自建在线上除垢,很容易堵;
MVR冷却水返回到回收利用洗手池,蒸发掉残液委外焚烧炉或是 危废处理处理,正个工厂无气态外排。
关键点装置优缺说
MVR直接循坏法比较普通级降膜化掉,循坏法空气流速高、对流换热系数面不会轻易结镍盐/碳酸盐垢,更适合测封这类"容量较小但饮用水质杂"的情景;分离式化撬装装修设计拆迁赔偿比传统文化化掉塘+多效化掉细则小60%上面的;恶臭侧配置怪物滤池,把改善池和淤泥间的恶臭获得后分解成CO₂和水,预防测封厂紧靠办工区的有异味网络投诉。
除理目的与经济发展
出水量镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远高于《化学镀环境破坏物排污标准规范》表三;全150立米米/天产水循环于公测产线刷洗,混用等量优质水;垃圾(挥发残液+废水)量比中国传统"沉淀自己+排污"经济模式减约70%。对富士康侧,公测大型项目环境保护分级管理卡点打架通;