西安某半导体行业工作器我们厂，晶圆工作进程中生成含硅、氟的独特废污水，设计构思工作占比1200吨/日。废污水成份僵化，带有納米级硅颗粒状及氢佛酸，过去工作方式无法考核标准。 废水处理工艺化学成分及来自 重要被污物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm粒级）、氟亚铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 来历制作工序 ：晶圆刻蚀污废水 处理（45%）、CMP化学反应自动化磨光污废水 处理（40%）、机清洗水（15%） 整理艺程序流程 创新性分为"电学凝固+特种车辆膜分离处理"新技术自驾线路： 钙盐滤渣 ：污泥脱水氯化钙避开氟亚铁离子（转换成CaF2积淀） 斜板沉淀池现象 ：黏结斜管沉淀池剂构建橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜挪作他用微细颗粒剂 反侵入设备 ：脱盐率>98%，收废率75% 蒸发器成果 ：浓水段实现了氟化物达标排放量 后面疗效 氟化物质量浓度：<8mg/L（最低政府四级规范标准10mg/L） 硅成分：<5mg/L 有限水源的循环率：70%用在急冷塔补充水分 垃圾减药：化掉食物残渣量较传统性制作工艺减低60%