某半导体器件制造技术工厂因晶圆拆洗繁琐流程产生了含氨污废水 ，容量200吨/天。污废水 中除氯离子外还有氟化物和氢化物发生器高价属，解决难易度大。当地人排放出要要氯离子＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废渣的成分及原因 晶圆的洗涤生活污水（重点从何而来）：含氯离子200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工作废水处理：含进样器铜、镍等血本属，pH值起伏较大大 CMP碾磨污废水 ：含硅粒子及氟化物 整理加工过程方案 采取"催化沉垫+膜分離+折点氯化"组和技术： 预整理 ：污泥脱水CaCl2除氟，掌握pH在7.5-8. 超滤膜系統 ：我们要除0.01μm左右科粒物 反融合溶缩 ：将化学需氧量浸提至1000mg/L上面的 折点氯化 ：准确操控氯污泥脱水量，将氧化还原电位转化成为N2 阴阳离子相互交换 ：基本保障巨资属未达标 后面作用 氯离子相对稳定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 血本属纯度不超过判断限 水中水回用率达75% 污泥处理导致量缩短40%