该厂为8厘米晶圆的产线生活设施的超软水控制系统，一天存在含硅生产废水150吨。生产废清水中虽无高价属，但硅纯度高易水垢，且电阻功率率需达到18MΩ·cm方可回收。应有操作技艺不了充分考虑新发布的《电子厂工农业水被有机废气释放标淮》（GB39731-2020）比较释放最大限度。 废水处理方法材质性能 基本造成的污染源 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、颗粒物硅（粒度分布0.1-1μm） 独特规范要求 ：TOC<10μg/L，硼含氧量<5μg/L 水质量形态 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅类化合物姿态有难度 处置制作工艺方法 信息化选取"梯级膜分离处理+电去阴阳离子"组装施工工艺： 微滤预进行处理 ：1μm陶瓷图片膜屏蔽广告大颗粒物硅，通量保护80LMH 亚铁离子互换树酯 ：D201大孔硅橡胶选取性物理吸附硅酸团伙 两级RO程序 ：第一次段利用率60%，二、段用高脱硼膜零件 EDI电去铁离子 ：感应电流强度2A/m²，持续时间除掉残余物铁离子 紫外线杀菌的 ：254nm红外光谱线服用量40mJ/cm² 技术性新亮点 激发使用阻硅剂（充分胺类黏结物），减慢膜感染时期3倍 EDI控制器转型升级流道规划，硅除去率的提升至99.8% 再线硅概述仪（侧量位置0.1-500μg/L）保持精确保持 启动作用 经然后方测量： 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼份量从8μg/L高于0.3μg/L 机系统回收并率从原40%提拔至68% 膜换成频次调长至5年，年正常运行费用较低35%