该晶圆制作业厂设在华南区县,最主要分娩89英寸半导体器件晶圆,平均工业废水污染物量约800吨。主要是因为分娩的时候中运行一大批氢佛酸完成晶圆蚀刻,出现工业废水底氟化物氧浓度将高达200-300mg/L,远超的国家污染物标准规定(10mg/L以內)。
焦化废水化学物质及来原
工业废水最主要的产于这三个阶段:
晶圆蚀刻多种工序
:含高酸度氟化物(HF)、氰化钠及几瓶高价属
耐腐蚀机械制造镜面抛光(CMP)废水处理
:含微米级硅颗粒状、可挥发络合剂
主设备的洗涤生活污水
:含异丙醇、氯离子等充分物
除理施工工艺步骤
通过"化学物质凝固+沥青混凝土凝固+的深度滤过"三级职业资格证书外理系统:
五级处置
:污泥脱水氯化钙和氢脱色钙,构成氟化钙沉垫,氟化物出掉率达85%
二次元治理
:增添PAC(整合氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),剔除悬浊液态生态破坏物
三级视频治理
:实现多材质吸收器和化学活化炭吸收,出水出水氟化物溶液浓度相对稳定在8mg/L下述
主要装备包含:pH定时的调节系统化、斜管沉定池、板框压滤机厂家(工业废水脱干)。
终极效用
投资项目运作一年检测资料表示:
氟化物平均值酸度:7.2mg/L(低过国度标准的)
COD祛除率:92%
飞灰含水量率:≤65%
年再采取氟化钙副设备约150吨,达到网络循环经济采取