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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

业务视频背景 某魔幻半导体行业手工制造的行业为于长三角形地区划分,主要制作晶圆和基带芯片。在制作全过程中,晶圆分割和抛光剂一阶段发生大批研磨抛光液污水,每日产生量约50吨。考虑到污水面内含高质量浓度浮窗物、不锈钢阴离子及充分添加图片剂,之间产生会对条件引发非常严重感染,的行业急用构建专门处置安全设施。 废渣组成成分及来原 机磨液生产废水最注意从何而来于晶圆工艺中的化学反应机械性抛光剂(CMP)道工序,最注意环保问题物包扩: 自动隐藏粉末物 :二防脱色硅、防脱色铝等抛光颗粒剂,颗粒直径在0.1-1μm,浓度值高达到2000mg/L。 合金材料正离子 :铜、铁、锌等,产于cnc精密机械加工垫损坏及晶圆外层金属材料层,铜正离子含量约50mg/L。 可挥发“抗氧化剂 :主要包括表层几丁质酶剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 酸碱平衡性杂质 :pH值上下波动大,一般 在2-11两者。 外理施工工艺方法 专门针对废水补救方法性能特点,通过“预补救+什么是生化+纵深补救”组合起来加工: 自动调节池 :均等化水质量蓄水量,修改酸碱度调接pH至比较适中。 混凝土悠长岁月中 :加药系统PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),除掉自动隐藏物和橡胶胶体部分,沉降后SS除掉率>90%。 崔化氧化反应 :使用Fenton制剂(H₂O₂+Fe²⁺)溶解生产填加剂,COD去掉率达60%。 菌物办理 :MBR膜怪物发应器进两步可降解剩于无机物,COD降为100mg/L下列。 化合物互相交换 :用硅橡胶吸附剂铜阳离子,出液铜含锌量<0.5mg/L。 砂滤+特异性炭筛选 :切实保障喷水纯净,满足《工业废水终合产生标规范》(GB8978-1996)3级标规范。 结果英文视觉效果 设备运作安全稳定后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。 工业废水处理处理率达40%,多余达到标准摆放口,年可以减少废水处理摆放口1.20万吨。 处理利润约15元/吨,远降至市场最低值。

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